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建设百级无尘车间对净化的要求

2020-09-17 15:20:50

电子制造业洁净厂房设计是一项综合性技术。为了达到合理设计、降低产品不良率、提高生产效率,有必要充分了解电子制造洁净车间的特点。

无尘车间

电子制造车间的清洁度要求很高。温度、湿度、风量、压差、设备排气按需控制。照明及洁净室段风速按设计或规范控制。另外,这种洁净室对静电有极高的要求。严格的。其中,对湿度的要求更高。在过于干燥的车间内极易产生静电,对CMOS集成电路造成损坏。一般来说,电子车间的温度控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关的温湿度规定)。此时,静电能被有效地消除,使人感到舒适。芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间是电子制造业洁净室的重要组成部分。由于电子产品在制造和生产过程中对室内空气环境和质量有着极其严格的要求,主要控制颗粒物,以浮尘为主要对象,对环境的温度、湿度、新风量、噪声等也有严格的规定。


百级洁净室所需换气次数:


100000级≥15次;


10000级≥20次;


1000≥30次;


100≥500次。


温度要求:冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。温度45-65%;


压差:主厂房至相邻房间≥5Pa平均风速:10100 0.3-0.5m/s;


GMP要求车间周围的静电湿度应稍高些;车间内的静电湿度应稍高些;


噪声要求:噪声≤65dB(A);


新风量要求:新风量为总送风量的10%-30%;


照度要求:照度300LX。


百级无尘车间的净化要求主要依靠净化气流不断稀释室内空气,逐步排放室内污染物,达到清洁效果。房间内的气流是非平行流动,速度不均,混合有回流或涡流。不同级别的净化车间主要通过单位时间风量的差异来实现。


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